제목 | MEMS 기술을 이용한 감지 및 제어기의 기술동향 | ||||||
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담당자 | 과장 김재우 | 담당부서 | 정밀전자과 | 등록일 | 2003-03-13 | 조회수 | 2781 |
첨부파일 | MEMS기술동향-1.hwp |
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내용 |
- 반도체기술의 발전에 따라 아래와 같이 ”MEMS 기술을 이용한 감지 및 제 어기의 기술동향”을 소개하오니 관심있으신분들은 참조바랍니다. - 주요내용 : ·MEMS 기술을 이용한 반도체 센서의 기술 현황 ·압력센서, 유속·유량 센서, 스트레인 센서 ·가속도·진동 센서, 온·습도 센서 ·MEMS 기술을 이용한 감지·제어기의 기술 발전 방향 |